进入万级洁净室的程序：

    1.踏上换鞋区入口之地板前，必须先将外鞋脱下。2.将外鞋置于一般鞋之鞋柜之中。3.进入换衣区换穿无尘衣。4.依规定进入。

    风淋室作空气浴：

    1.进入洁净室之前，必须先经过风淋机吹洗。2.风淋室内，不可超过2个人同时进入。3.为避免影响空气正常循环及除尘效果，人员不可倚靠在空气洗净室的门或墙上。4.人员必须站立于空气洗净室中央踏脚板上轻微摇动双手、双腿，以帮助灰尘掉落。5.风嘴方向正常应是向下吹气，请勿随意拨弄调整好的风嘴方向，以求达到大的除尘效果。

    进入十级洁净室注意事项：进入十级洁净室应再换换穿洁净室专用之无尘衣。

    穿着无尘衣之规定为：

    1.头发必须盖在头罩之内，必要时可使用发罩。2.口、鼻必须盖在口罩之内：口罩使用后即应丢弃，不可重复使用。

    3.头罩下摆必须完全扎入无尘衣之衣领内。4.无尘衣穿着程序：(1)发罩(2)口罩(3)头罩(4)无尘衣(5)无尘鞋(6)手套。

    5.当穿上无尘服时，识别证必须挂在无尘服外。6.穿戴手套之前须先确定正面，并作充气试验，确定无漏方可使用。

    7.手套穿戴后，手腕部份应藏于无尘衣袖内。8.进入洁净室前应再经过空气洗净室，空气洗净室每次至多2人进入。

    脱无尘服之注意事项：

    1．出洁净室后脱下手套洗手完毕才可开始脱无尘鞋、无尘衣。2.脱无尘服程序：(1)手套(2)鞋子(3)衣服(4)头罩(5)发罩(6)口罩。

    洁净室丢弃物的处理：

    1.所有丢弃物及用过之化学品应依规定之方式处理及倾倒。2.随时保持整洁，勿将垃圾留给别人，棉花棒、废弃物勿随手丢，应置入垃圾桶内。3.勿将酸及有机溶剂混合倾倒，以免爆炸。4.各种酸硷废液需倒入指定之排放口，以便中和后排放。5.有机溶剂分别倒入容器中储存，勿倒入排水系统中。

    其他注意事项：

    1.非必要勿进入洁净室，可利用传递箱传递芯片及物品。2.勿在洁净室内踏步来回走动。3.非必要禁止停留在洁净区域内。